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基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究

《电子技术与软件工程》2016年 第4期 | 黄文平 王成智   安徽皖仪科技股份有限公司 安徽省合肥市230088
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摘 要:本文介绍氦质谱法真空箱检漏技术的原理,以及在工业产品泄漏检测的实际应用效果,同时提出了提高检测限的方法途径。
【分 类】【数理科学和化学】 > 化学 > 分析化学 > 仪器分析法(物理及物理化学分析法) > 质谱分析
【关键词】 氦质谱检漏仪 真空箱 漏率值
【出 处】 《电子技术与软件工程》2016年 第4期 98-99页 共2页
【收 录】 中文科技期刊数据库