二维纳米激光测量系统的研究
齐永岳 赵美蓉 林玉池
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072
摘 要:
介绍了一种新型的纳米级精度的二维激光干涉测量系统．该系统以光学8倍频的耦合差动式干涉光路为基础，在获取大量测量数据的基础上，利用线性回归的方法对测量结果进行处理．系统结构设计简洁紧凑，符合阿贝原则和结构变形最小原则，与普通的迈克尔逊干涉仪相比具有光路布局对称性好，光程差倍增，抗干扰能力强等优点．通过与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测．结果表明，该干涉测量系统的精度为10～12nm． (共4页)
学科分类:
O436.1[数理科学和化学 > 物理学 > 光学 > 物理光学（波动光学） > 干涉与衍射] TP212[工业技术 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器（变换器）、传感器]相关文章:
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