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纯铂在塑性加工过程的微观结构演变及力学性能研究

《贵金属》2019年 第3期 | 许彦亭 王一晴 陈家林 郭俊梅 闻明 王传军 谭志龙 管伟明   昆明贵金属研究所 贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用国家重点实验室 昆明650106
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摘 要:靶材微观组织均匀性直接影响半导体集成电路溅射薄膜质量。采用金相显微镜、X射线衍射(XRD)和显微硬度计,研究了纯铂单向冷轧及热处理过程中的微观结构演变及力学性能。结果表明,纯铂单向冷轧时随变形量的增加晶粒沿轧向拉长,显微硬度逐渐上升;单向冷轧变形量为80%的纯铂在450℃退火发生再结晶,产生的细小等轴晶平均晶粒尺寸约为41 μm;随着退火温度升高,晶粒尺寸增大,显微硬度降低,纯铂由冷轧态(111)、(220)晶面择优取向过渡为(200)、(311)、(220)晶面择优取向。
【分 类】【工业技术】 > 金属学与金属工艺 > 金属学与热处理 > 金属材料 > 有色金属及其合金 > 贵金属、铂族金属及其合金 > 铂(白金)
【关键词】 纯铂 溅射靶材 冷轧 退火 择优取向 晶粒尺寸
【出 处】 《贵金属》2019年 第3期 11-16页 共6页
【收 录】 中文科技期刊数据库