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浅沟槽双光电探测器
陈瑞鹏 毛陆虹 宋瑞良 天津大学 天津300072第1页
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| 《电子测量技术》2006年 第4期 | 摘要：提出一种新型光电探测器，采用浅沟槽隔离工艺，在双光电探测器基础上制作而成。通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟，分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响，包括响应度和响应速度。结果表明，浅沟槽双光电探测器具有良好的特性，响应度和响应速度都优于双光电探测器。 | |
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| 格式：PDF 页数：3 页 页码范围：24-25页 | ||
学科分类：
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| 关 键 词：双光电探测器 浅沟槽隔离 器件模拟 响应度 | ||
| 来源期刊：《电子测量技术》2006年 第4期 | ||
| 收录数据库：中文科技期刊数据库 | ||
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