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导波声光频谱仪集成光路的研究

《发光学报》1998年 第4期 | 鲁平   中国科学院长春物理研究所
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摘 要:根据频率分辨率极限和光学分辨经极限,用解析理论的精确公式设计了导波声光频谱仪集成光路,用单点金刚石超精加工和凹面波导制备工艺,研制成Φ12mm双孔非球面短程透镜型导波声光频谱仪民集成光路芯片,实验结果表明,器件集成光路在8mm宽输入光束下通光性能良好,双孔非球面透镜的镜的焦点分别在左,右两端面上,且输出端面焦点衍射光斑半功率点宽度≤4μm。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 电子元件、组件 > 声光器件【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 光电子技术、激光技术 > 波导光学与集成光学
【关键词】 集成光学 频率分辨率 导波导光频谱仪
【出 处】 《发光学报》1998年 第4期 348-351页 共4页
【收 录】 中文科技期刊数据库