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退火温度对溶胶-凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的结构和光学特性的影响

《发光学报》2009年 第1期 | 高书霞 王德义   烟台大学光电信息学院 山东烟台264005 烟台大学环境与材料工程学院 山东烟台264005
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摘 要:采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(100)衬底上制备Na掺杂ZnO薄膜,退火温度分别为873,973,1073K。研究了退火温度对Na掺杂ZnO薄膜形貌、微观结构和光学性能的影响。室温光致发光谱显示,在973K下退火的样品具有中心位于361nm处尖锐而强的紫外发光峰,在388,425nm处各有一个比较弱的紫色和蓝色发光峰,在可见光范围内发光峰的强度很弱。
【分 类】【数理科学和化学】 > 物理学 > 固体物理学 > 固体性质 > 光学性质 > 发光学
【关键词】 微结构 光学特性 溶胶-凝胶法 Na掺杂ZnO
【出 处】 《发光学报》2009年 第1期 81-85页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库