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双波段截止分色滤光片研究

《发光学报》2017年 第12期 | 曹晶辉 苏宙平 胡莹 胡立发 朱华新   江南大学理学院江苏省轻工光电工程技术研究中心 江苏无锡214122
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摘 要:为实现45°入射情况下K9基底上双波段截止分色的特性(截止带波长0.5-0.68μm、0.73-0.79μm,通带波长0.83-0.87μm),采用F-P型的带通滤光片膜系结构为初始结构,与常规设计理念相比有效减少了膜层的数量,薄膜的高折材料采用Ti O2,低折材料采用Si O2,以实现双波段截止的目的。膜层的设计层数为23层,总厚度为2.278μm,借助电子束蒸发物理气相沉积法实现了镀制,利用分光光度计对镀制样品的透过率进行评估。测试结果显示,截止区(0.5-0.68μm和0.73-0.79μm)平均截止深度分别达到了12.57%和20.39%,通带0.83-0.87μm波段内的平均透过率达到了91.35%,样品测试曲线与设计相比,"蓝移"将近10 nm。薄膜样品基本实现了设计目标,具有双波段截止、高通带透过率的特性。在环境测试中:薄膜表现出显著的稳定性,膜层间匹配度适宜。该双波段截止分色滤光片能够应用在一些极端的情况下。
【分 类】【数理科学和化学】 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学
【关键词】 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 滤光片
【出 处】 《发光学报》2017年 第12期 1675-1680页 共6页
【收 录】 中文科技期刊数据库