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联氨溶液钝化GaAs(100)表面特性及其发光性能

《发光学报》2019年 第10期 | 徐雨萌 薄报学 高欣   长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室 吉林长春130022
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摘 要:为了有效降低GaAs表面态密度,获得稳定的高性能钝化膜,使用联氨溶液钝化GaAs(100)表面。通过光致发光对联氨溶液浓度、Na 2S浓度和钝化时间进行了优化。联氨溶液钝化后GaAs样品的PL比未处理的增加了1.22倍。采用X射线光电子能谱和原子力显微镜分析了联氨溶液钝化前后GaAs的表面成分和形貌。结果表明,联氨溶液钝化GaAs表面可以有效地去除表面氧化物,形成均匀、平整的GaN钝化层。通过表面稳定性测试发现,钝化后的GaAs表面在空气中放置数天,光致发光强度未见明显的退化(30 d内PL强度降低7%),说明钝化后GaAs表面的稳定性良好。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 光电子技术、激光技术 > 激光技术、微波激射技术 > 激光器 > 半导体激光器
【关键词】 联氨 GAAS 钝化 光致发光 GAN
【出 处】 《发光学报》2019年 第10期 1234-1239页 共6页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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