学术
国际标准刊号：ISSN 0258-7076
国内统一刊号：CN 11-2111
摘 要:
Ｎｉ－Ｖ合金靶材无磁性，该合金由真空熔炼制成，压力加工后晶粒得以细化，靶材的尺寸为Ф２２５×１２．７ｍｍ及２７６×１３６×９ｍｍ。合金的纯度为９９．７％。磁性材料镍中添加钒有利于磁控溅射。在溅射过程中，Ｎｉ－Ｖ合金中的镍被溅射于硅片，用作粘附层，钒则作为阻挡层，合金靶经Ｘ射线衍射分析确定为单相固溶体，经扫描电镜及Ｘ射线能谱仪测定，钒在Ｎｉ－Ｖ合金中的平面方向和垂方向上分布均匀。
文章出处:
《稀有金属》-1994年18卷6期,412 -436-439,412页
Chinese Journal of Rare Metals
分 类 号:
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