采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅
谢永军 赵福华 魏伟 赵小侠 赵卫
中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安710119
摘 要:
采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8 μm、周期为1 μm的衍射光栅.
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