微机械振动式陀螺接口电路设计与实现

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陈懿[1] 金仲和[1] 王慧泉[1] 焦纪伟[2] 王跃林[1,2]

[1]浙江大学信息与电子工程系,杭州310027 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050

摘　　要:

介绍了一种电磁驱动电容检测的微机械振动式陀螺的接口电路，电路由自激驱动电路和信号检测处理电路组成。自激驱动部分利用陀螺自身的谐振特性配合反馈电路产生自激振荡，同时为检测部分提供了稳定的同步信号；检测部分利用该同步信号和陀螺的输出信号进行同步解调，得到角速度信号。最后对该电路的性能和测试结果进行了分析。 (共7页)

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