PZT铁电薄膜纳米尺度畴结构的扫描力显微术研究

曾华荣 李国荣 殷庆瑞 唐新桂

中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海200050

摘  要:

利用扫描力显微术中压电响应模式原位研究了(111)择优取向的PZT60/40铁电薄膜的纳米尺度畴结构及其极化反转行为.铁电畴图像复杂的畴衬度与晶粒中的畴排列和晶粒的取向密切相关.直接观察到极化反转期间所形成的小至30nm宽的台阶结构,该台阶结构揭示了(111)取向的PZT60/40铁电薄膜在极化反转期间其畴成核与生长机理主要表现为铁电畴的纵向生长机理. (共5页)

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