摘 要:
采用廉价国产硅粉拉制的低纯度颗粒硅带(SSP)作为衬底,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达4.5%的薄膜太阳电池,对衬底和薄膜特性,相关工艺及进一步的研究方向做了探讨。
文章出处:
《太阳能学报》-2002年23卷3期 -290-292页
Acta Energiae Solaris Sinica
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采用廉价国产硅粉拉制的低纯度颗粒硅带(SSP)作为衬底,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达4.5%的薄膜太阳电池,对衬底和薄膜特性,相关工艺及进一步的研究方向做了探讨。
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