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准分子激光微细加工技术

《微细加工技术》1989年 第2期 | 张玉书 张庆有   吉林大学 吉林大学
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摘 要:<正> 准分子激光器是一种高功率、高效率的紫外激光器,在未来利用紫外光技术的光产业中具有独特的作用。目前已在激光化学、激光生物医学和激光新材料等科学领域中显示出潜在的活力。然而最活跃的是准分子激光微细加工技术。图1给出了半导体材料主要加工技术的发展概况。从图1可以看出激光微细加工在半导体技术中的重要地位。本文对该领域的激光曝光、激光CVD、激光掺杂和激光刻蚀技术等四个方面作简要的介绍。更多还原
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 光刻、掩膜
【关键词】 准分子激光 微细加工
【出 处】 《微细加工技术》1989年 第2期 48-52页 共6页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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