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钛的反应离子刻蚀

《微细加工技术》1989年 第2期 | 应再生   上海交通大学应用物理系
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摘 要:本文介绍在扩钛条波导器件的研制中,对难熔金属钛的微细图形用CCl_4及辅助气体进行反应离子刻蚀的研究,并对如何提高刻蚀质量进行了分析讨论。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 光刻、掩膜
【关键词】 反应离子刻蚀 条波导器件 刻蚀
【出 处】 《微细加工技术》1989年 第2期 31-33页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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