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离子束传输系统设计实例

《微细加工技术》1989年 第2期 | 徐道林   机电部第48研究所
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摘 要:<正> 一、前言在电子、冶金、材料、超导等科技和生产领域,离子束设备的应用越来越广。国外,离子束设备的研究和生产已经成为一个独立的部门。从六十年代末开始至今,我国的离子束设备的研究和生产得到了很大发展,已经研究和生产了多种型号的离子束设备,为我国的科技进步和生产发展作出了一定贡献。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 光刻、掩膜
【关键词】 离子束 传输系统 设计
【出 处】 《微细加工技术》1989年 第2期 7-17页 共11页
【收 录】 中文科技期刊数据库