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当代离子注入机—设计周密的智能型离子注入机

《微细加工技术》1989年 第2期 | 郭敬堤   
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摘 要:<正> 当代的离子注入机已不是从前那种难以驾驭的机器了;它们可以是加工过程中操作人员的工程伙伴。Piter Burggraaf,Senior Editor如果离子注入机能思维,它就应考虑到生产、工艺过程控制和自动维护的功能:它将集启动、设定和装载于一身——从操作人员那里接过这些重担。这种“会思维”的离子注入机可以控制离子加工过程中与增加产额有关的许多参数,如束扫描,圆片旋转和倾斜,圆片带
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 掺杂
【关键词】 离子注入机 智能型
【出 处】 《微细加工技术》1989年 第2期 62-72页 共11页
【收 录】 中文科技期刊数据库