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微细加工设备动态

《微细加工技术》1993年 第2期 |   
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摘 要:<正> 1 电子束曝光机 日本日立制作所研制成HL—800DI和HL-800DⅡ电子束直接作图装置。这种装置是在可变矩形束的基础上,采用自投影方式,使生产率大幅度提高,可作为64M~256MDRAM的曝光装置,用于存储器和ASlC的大批量生产。生产率为每小时可曝光20片ULSl储存器圆片。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备
【关键词】 微细加工设备 动态 电子束曝光机
【出 处】 《微细加工技术》1993年 第2期 93-94页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库