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薄膜机械强度测试方法

《微细加工技术》1993年 第2期 | 王浩 陆金桂   华中理工大学 华中理工大学 武汉 430074 武汉 430074 武汉 430074
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摘 要:用物理气相沉积技术(PVD)及化学气相沉积技术(CVD)制备的金属或金属化合物(如TiN、TiC等)薄膜,涂复在机械零件及刀、磨具的表面上,获得了日益广泛的应用。而薄膜的机械强度,是评价薄膜性能优劣的一个重要指标,本文试就薄膜抗拉强度和耐压强度的几种测试方法进行了归纳和论述,并对这些方法的适用范围及局限性进行了比较。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 材料 > 一般性问题 > 制取方法与设备 > 半导体薄膜技术【数理科学和化学】 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜测量与分析
【关键词】 薄膜 机械强度 测试
【出 处】 《微细加工技术》1993年 第2期 72-76页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库