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氧化物高温超导薄膜制备技术的进展

《微细加工技术》1993年 第2期 | 熊光成 李贻杰   北京大学物理系
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摘 要:本文较系统地介绍了高温超导薄膜的制备方法与生长机理,讨论了生长工艺与薄膜超导性能之间的关系,并对高温超导薄膜的异质外延、多层膜结构及超晶格制备等一些最新进展作了介绍。
【分 类】【工业技术】 > 电工技术 > 电工材料 > 超导体、超导体材料
【关键词】 高温 超导薄膜 外延生长 氧化物
【出 处】 《微细加工技术》1993年 第2期 60-71页 共12页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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