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一种新型的电子束图形发生器

《微细加工技术》1993年 第2期 | 魏守水 张玉林   山东工业大学电子束科研室 山东工业大学电子束科研室 济南 250014 济南 250014
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摘 要:本文介绍了一种新型的电子束图形发生器,它基于主从分布式微机结构体系。以IBM PC/AT为主机管理,MCS—51单片机为分机控制。下位机接收传来的命令和数据,并分析转换以完成单双通道各种基本图形的扫描。工作频率在6MHz以上。结果表明:用分布式微机结构体系完成原小型机的工作,可以大大简化图形发生器的结构,且控制灵活,为曝光机的整机自动化打下基础。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 光刻、掩膜
【关键词】 电子束曝光机 图形发生器 电子束 微细加工
【出 处】 《微细加工技术》1993年 第2期 1-7页 共7页
【收 录】 中文科技期刊数据库