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超导Josephson结的制备及其特性研究

《微细加工技术》1993年 第3期 | 刘声雷   合肥工业大学应用物理系 合肥市 230009
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摘 要:本文详细讨论了用微细加工技术制作Josephson结的过程以及影响其电学特性的各种因素,用湿法刻蚀技术制备了面积为4×4μm~2的Josephson结,并在4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 溅射
【关键词】 微细加工 JOSEPHSON结 测射 超导量子结
【出 处】 《微细加工技术》1993年 第3期 74-77页 共4页
【收 录】 中文科技期刊数据库