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碳—钛离子同步注入组织观察

《微细加工技术》1993年 第3期 | 李国卿 王德和 张涛 刘邦智 许晓磊 黑祖昆   大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连海运学院 大连海运学院 大连 116023 大连 116023 大连 116024 大连 116024
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摘 要:在新型的TITAN离子注入系统中,采用组合阴极的方法,进行了碳—钛离子同步注入试验,对纯铁中的离子注入组织进行了电镜观察研究。碳离子注入形成了粒状的Fe_3C相,而碳—钛离子同步注入形成了条状的Fe_5C_2和Fe_2C等非平衡相组织
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 掺杂
【关键词】 同步注入 离子注入 碳离子 钛离子
【出 处】 《微细加工技术》1993年 第3期 28-32页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库