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钟罩式高温烧结炉的温控技术

《微细加工技术》1997年 第4期 | 彭志坚   电子部第48研究所 长沙 410111
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摘 要:本文介绍了采用自整定,自适应技术,使炉温得到有效控制的钟罩式高温烧结炉的温度控制方法。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 微电子学、集成电路(IC) > 一般性问题 > 制造工艺
【关键词】 温度控制 集成电路 封装 制作工艺
【出 处】 《微细加工技术》1997年 第4期 66-69页 共4页
【收 录】 中文科技期刊数据库