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基于硅片的SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟

《微细加工技术》1999年 第4期 | 王莉 蔡炳初   上海交通大学信息存储研究中心 上海200030
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摘 要:建立了SMA薄膜/基片的耦合数学模型,对溅射在基片上的SMA薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟,结果表明SMA薄膜/基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结果,该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多。该模型对于实际应用SMA薄膜/基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义。
【分 类】【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 一般自动化系统 > 机电系统
【关键词】 微驱动器 硅基片 模拟 SMA薄膜 微机电系统
【出 处】 《微细加工技术》1999年 第4期 38-46页 共9页
【收 录】 中文科技期刊数据库