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新型的形状记忆合金/硅薄膜微驱动器

《微细加工技术》1999年 第4期 | 徐东 蔡炳初   上海交通大学信息存储研究中心 上海200030
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摘 要:介绍了一种用硅微加工技术制作的NiTi/Si薄膜结构的双向微驱动器。它利用NiTi形状记忆合金薄膜(SMA)大的相变回复应力和Si衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对NiTi薄膜进行合理的图形化后使得驱动器位移量增大,双向效应显著,响应速度提高。
【分 类】【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 一般自动化系统 > 机电系统
【关键词】 薄膜 形状记忆合金 微驱动器 微机电系统
【出 处】 《微细加工技术》1999年 第4期 51-55页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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