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纳米级表面轮廓传感器

《微细加工技术》1999年 第4期 | 俞朴 张守愚   上海交通大学信息检测技术及仪器系
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摘 要:介绍一种用于半导体工业领域测量膜厚和表面轮廓的传感器,其分辨率达1nm。经计量部门测试,测量范围为±180μm时,线性度达0.4%FS;量程分为四挡:量程为100nm时,重复误差为2%,量程为500nm或1000nm时,重复误差为1%,量程为5000nm以上时,重复误差为零。传感器触针对工件的压力在0 ̄0.5mN间可调。
【分 类】【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器(变换器)、传感器
【关键词】 传感器 纳米级 表面轮廓
【出 处】 《微细加工技术》1999年 第4期 56-61页 共6页
【收 录】 中文科技期刊数据库