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离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜

《微细加工技术》2001年 第1期 | 李红军 卢振武 廖江红 翁志成 王乃强 刘金声   中国科学院 航天工业总公司23所
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摘 要:由于衍射光学元件独特的色散特性及体积小、重量轻可进行复制等优点,它在国防、生产及科研等领域的作用越来越重要,应用于光学成像系统,不仅能改善系统成像质量,而且能实现系统的轻量化、小型化,增加系统设计的自由度。使用离子束刻蚀法制作的16阶菲涅耳透镜应用于折衍混合CCD相机;测量菲涅耳透镜的衍射效率并分析了影响衍射效率的因素。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 真空电子技术 > 电子光学仪器【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 光刻、掩膜
【关键词】 衍射光学元件 离子束刻蚀 菲涅耳透镜 衍射效率
【出 处】 《微细加工技术》2001年 第1期 26-29页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库