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掺胺碳膜及其对甲酸蒸气传感特性

《微细加工技术》2001年 第1期 | 颜永红 曾云 曾健平 尹霞 张红南 陈宗璋   湖南大学应用物理系 湖南大学化学化工学院
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摘 要:用射频等离子体化学沉积方法制备氢化非晶碳(a-C:H)膜。在等离子体气氛中引入胺基团,则能够在a-C:H薄膜沉积过程中将胺基团掺入薄膜的网络结构中。喇曼光谱表明薄膜具有无序态结构。红外分析表明薄膜中有胺基团存在,将掺胺的a-C:H薄膜作为质量传感膜沉积到石英晶体表面制成气相质量传感器。测试表明掺胺a-C:H膜对甲酸蒸气具有高的响应灵敏度,好的线性相关系数和宽的线性响应范围。
【分 类】【数理科学和化学】 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜的性质
【关键词】 氢化碳膜 胺掺杂 甲酸蒸气 传感特性 非晶碳膜 等离子体
【出 处】 《微细加工技术》2001年 第1期 41-44页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库