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毛细管电泳芯片的制造

《微细加工技术》2001年 第1期 | 汤扬华 周兆英 叶雄英 冯焱颖 金亚   清华大学精仪系 北京100084
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摘 要:研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃-玻璃键合技术:讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合,键合温度为620℃,得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的0.44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 微电子学、集成电路(IC) > 专用集成电路
【关键词】 湿法刻蚀 毛细管 电冰芯片 玻璃 专用集成电路
【出 处】 《微细加工技术》2001年 第1期 62-66页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库