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压阻式金刚石微压力传感器

《微细加工技术》2001年 第1期 | 莘海维 张志明 沈荷生 戴永兵 万永中   上海交通大学微电子所 上海200030
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摘 要:工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质(如化学上的惰性、高的杨氏模量)以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传感器适用于勘探、航空航天以及汽车工业。此外,还阐述了金刚石微压力传感器的研究现状,并进一步指出目前存在的问题。
【分 类】【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器(变换器)、传感器
【关键词】 压阻效应 金刚石膜薄 灵敏度因子 压力传感器
【出 处】 《微细加工技术》2001年 第1期 67-73页 共7页
【收 录】 中文科技期刊数据库