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基于MEMS的光开关研发与产业化问题

《微细加工技术》2001年 第4期 | 蒋庄德 赵则祥 王海容   西安交通大学精密工程研究所
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摘 要:针对MEMS光开关的相关技术问题,就国内外基于MEMS光开关的研发及其产业化概况以及我国与国外在该领域中存在的差距进行了阐述和分析.给出了加快我国基于MEMS光开关研发与产业化的几点建议.
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 光电子技术、激光技术 > 波导光学与集成光学 > 光纤元件【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 一般自动化系统 > 机电系统
【关键词】 光开关 微镜 MEMS 产业化 微机电系统
【出 处】 《微细加工技术》2001年 第4期 74-78页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库