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微测辐射热计用氧化钒薄膜制备及特性

《微细加工技术》2002年 第4期 | 茹国平 曹永峰   复旦大学微电子学系,上海200433
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摘 要:热敏薄膜电阻制备是非致冷微测辐射热计红外焦平面的一项关键技术。对目前在非致冷微测辐射热计研制中得到成功应用的氧化钒薄膜的特性、制备及表征技术进行综述。氧化钒存在多种物相和结构(VOx:0
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 半导体热电器件、热敏电阻
【关键词】 微测辐射热计 制备 氧化钒 电阻温度系数 溅射 热敏薄膜电阻
【出 处】 《微细加工技术》2002年 第4期 45-53页 共10页
【收 录】 中文科技期刊数据库