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基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片的研制

《微细加工技术》2004年 第1期 | 刘长春 崔大付 赵强 王利 王蕾   中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室 北京 100080
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摘 要:介绍了一种基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片,该芯片主要由三部分组成:集成了高压电极的玻璃基底、PDMS薄膜以及刻有微流路的PDMS板.利用lift-off工艺,在玻璃基底上制作了为电泳分离提供高压的Pt电极.为了提高PDMS微芯片的密封效率,同时也为了保持微流路材料的一致性,通过挤压法首先在玻璃基底上形成了一层PDMS薄膜.电泳分离实验表明:在该微芯片上能够实现DNA片段的有效分离.
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 微电子学、集成电路(IC) > 半导体集成电路(固体电路)【生物科学】 > 分子生物学 > 基因工程(遗传工程)
【关键词】 MEMS技术 集成电极 电泳微芯片 DNA分离 聚二甲基硅氧烷 PDMS 微流体生物芯片
【出 处】 《微细加工技术》2004年 第1期 58-61页 共4页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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