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TiNi合金薄膜的脉冲激光沉积制备与应用

《微细加工技术》2005年 第3期 | 祁恒 陈涛 左铁钏   北京工业大学 激光工程研究院 北京 100022
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摘 要:概述了三种TiNi合金薄膜的制备方法,其中重点阐述了脉冲激光沉积法,并详细介绍了TiNi合金薄膜作为微驱动元件在微流体控制系统和微操作系统中的应用.随着薄膜制备工艺和性能研究的发展,TiNi合金薄膜将在复合智能材料与结构、MEMS驱动和传感元件的设计与制造等方面具有更广阔的应用前景.
【分 类】【工业技术】 > 一般工业技术 > 工程材料学 > 智能材料【工业技术】 > 一般工业技术 > 工业通用技术与设备 > 薄膜技术
【关键词】 形状记忆合金 薄膜 脉冲激光沉积 微机电系统
【出 处】 《微细加工技术》2005年 第3期 1-8页 共8页
【收 录】 中文科技期刊数据库