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扫描电镜用图像采集系统的设计

《微细加工技术》2005年 第3期 | 束娜 方光荣 姜楠   中国科学院电工研究所 北京 100080 中国科学院研究生院 北京 100039
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摘 要:介绍了一种用FPGA(现场可编程门阵列)技术设计的新型图像采集系统,该系统可用于改进图像采集功能欠缺的老型号扫描电镜.设计方案采用可编程芯片FP-GA对系统进行逻辑控制,编写不同的程序即可广泛应用于其他图像的采集.选用TI公司的ADSl606作为模数转换的核心芯片,介绍了ADSl606的输入驱动电路、参考源电路以及为其设计的仪表放大调整电路,并给出了FPGA的控制工作流程和用Verilog HDL(硬件描述语言)编写的部分程序.同时,还对电路设计的注意事项做了详细的说明.
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 半导体器件制造工艺及设备 > 光刻、掩膜
【关键词】 扫描电镜 图像采集 FPGA VERILOG HDL
【出 处】 《微细加工技术》2005年 第3期 9-13页 共5页
【收 录】 中文科技期刊数据库

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