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大角度离子注入机控制系统软件设计

《微细加工技术》2008年 第6期 | 伍三忠 吴学忠   国防科技大学 中国电子科技集团公司第四十八研究所
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摘 要:介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
【分 类】【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 自动控制、自动控制系统 > 计算机控制、计算机控制系统
【关键词】 大角度离子注入机 系统软件 软件模块 软件结构
【出 处】 《微细加工技术》2008年 第6期 1-3页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库