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SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现

《微细加工技术》2008年 第6期 | 徐春晓 房立清 周新伟   军械工程学院火炮工程系 71345部队
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摘 要:设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现。研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据。
【分 类】【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器(变换器)、传感器
【关键词】 高温 抗冲击 微加速度传感器 SOI
【出 处】 《微细加工技术》2008年 第6期 26-27页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库