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铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究

《微细加工技术》2008年 第5期 | 高阳 李以贵 张俊峰   上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
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摘 要:本实验中首次采用铜材料作为声表面渡驱动装置的叉指换能器材料。对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点。采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更好。得到了利用剥离工艺制造的铜叉指换能器的原子力显微镜轮廓。制造了声表面波驱动装置并得到了优化的制造参数。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 光电子技术、激光技术 > 波导光学与集成光学 > 光波导
【关键词】 驱动 剥离工艺 离子铣工艺
【出 处】 《微细加工技术》2008年 第5期 21-23页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库