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基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制

《微细加工技术》2008年 第5期 | 白英良 段辉高 韩立   中国科学院电工研究所 北京100190 中国科学院研究生院 北京100093 兰州大学电子材料研究所 兰州730170
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摘 要:首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁。测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求,利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生产,同时避免了刚性脱模带来的难题。根据实验,还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术
【关键词】 微悬臂梁 微模塑 聚合物 PDMS 固化
【出 处】 《微细加工技术》2008年 第5期 35-36页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库