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悬空金属微条探头的制造

《微细加工技术》1996年 第4期 | 伊福廷 晋明   中科院北京高能物理研究所,北京100039
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摘 要:悬空金属微条是探测高能粒子和X射线的新型探测器--微条气体室的探测气体。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度可控制在微米量级,因此能够得到非常好的空间分辨率,并具有抗辐射,低成本等独特优点。
【分 类】【数理科学和化学】 > 原子核物理学、高能物理学 > 高能物理学 > 宇宙线 > 物理性质及探测
【关键词】 核物理 微条气体室 高能粒子探测器 探头
【出 处】 《微细加工技术》1996年 第4期 63-66页 共4页
【收 录】 中文科技期刊数据库