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金刚石薄膜的分层生长

《微细加工技术》1996年 第4期 | 唐璧玉 靳九成   湖南大学化学化工系,长沙410082
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摘 要:采用热丝化学气相沉积生长出优异的金刚石薄膜,研究了薄膜的分层生长过程,薄膜的层状结构及膜厚随沉积时间的变化特性。
【分 类】【数理科学和化学】 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜的生长、结构和外延
【关键词】 化学气相沉积 金刚石薄膜 分层生长
【出 处】 《微细加工技术》1996年 第4期 67-70页 共4页
【收 录】 中文科技期刊数据库