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基于ELVIS的薄层电阻测试系统设计

《现代仪器与医疗》2017年 第5期 | 刘宝栋 刘新福 吴鹏飞 莎桐桐   河北工业大学校园建设与管理处表表 天津300401 河北工业大学机械学院 天津300401
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摘 要:在分析薄层电阻测试方法及原理基础上,利用NI LabVIEW软件及NI ELVIS硬件完成改进的范德堡法的测试系统设计。硬件电路的数据采集由NI ELVIS完成,软件部分以数据处理模块为核心,经数据分析后进行显示,并可实现数据存储与读取。最后,通过样品测试验证了设计方法的合理性。
【分 类】【工业技术】 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术
【关键词】 ELVIS LABVIEW 微区薄层电阻 改进范德堡法
【出 处】 《现代仪器与医疗》2017年 第5期 26-27页 共3页
【收 录】 中文科技期刊数据库