MS-6BC型精密双面抛光机的研制
张璟[1] 胡刚翔[2] 马树林[1] 李伟[1] 叶怀储[3]
[1]浙江工业大学,浙江杭州310014 [2]宁波计量测试所,浙江宁波315041 [3]浙江省质量技术监督局,浙江杭州310014
摘 要:
光电子信息产业的快速发展，要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工，精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一。本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机，介绍了其结构及其特点，并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程。最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高，控制性能好的特点，适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超蝻密加工。 (共3页)
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