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Equipment for Electronic Products Marufacturing

电子工业专用设备
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季刊1971-01-01年创刊
16开

期刊信息

主管单位:信息产业部

主办单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所

社  长:郭永兴

主  编:赵璋

地  址:北京朝阳区西坝河南里3号楼国都写字楼508室

邮政编码:100028

电  话:010-64655251 64674511

电子邮件:faith_epe@sohu.net

国际标准刊号:ISSN 1004-4507

国内统一刊号:CN 62-1077/TN

单  价:12

定  价:144

获奖情况

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期刊简介

本刊主要面对国内外从事电子专用设备研究、设计、制造及应用领域的科学工作者、工程技术人员、大专院校师生及管理干部等。其宗旨是:坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针,报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有...

更多简介 >>>

电子工业专用设备 1999年 第04期目录

极紫外光刻技术童志义 (1)

磨机中物料分布的理论分析陈芳 曹金华 (9)

磨机中物料分布的分界面研究曾金华 张志胜 (12)

渐变滤光铬膜的遮板设计与真空镀制李新昌 (16)

机器视觉系统的原理及现状张琦 (20)

MEMS阔步迈入新世纪余中生 (22)

TDR—80型单晶炉的研制李留臣 耀飞黔 (25)

单晶炉上应用磁流体动密封技术的研制石建兴 李留臣 (28)

区熔单晶炉下轴旋转电机改型设计梁秀梅 张冰毅 (32)

晶体的旋转切割李万河 (35)

电感自动成形编条机的研制刘红英 (38)

0.30μmi线光刻的精确套准控制Kim.,K.Y 葛励冲 (42)

向下世纪过渡的300mm技术Baks.,V Youn.,D (47)

改进定标曝光场的对准精度Naka.,S 郭健 (51)

标准化的经济效果分析黄燕 (57)

电子专用设备中机械零件的可靠性设计丁晓东 (60)

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