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机械仪表 >> 唐山师范学院学报 >> 2006年28卷5期 >> 摘要

纳米多层膜的制备方法及比较

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杨会静 孙立萍 刘长虹

唐山师范学院物理系,河北唐山063000

唐山师范学院学报

《唐山师范学院学报》

2006年第28卷第5期

摘　　要:

介绍了制备纳米多层膜的物理和化学方法，并对它们的优劣进行了比较。 (共3页)

关键词:

纳米多层膜制备物理方法化学方法

学科分类:

TH117[工业技术 > 机械、仪表工业 > 机械学（机械设计基础理论） > 机械摩擦、磨损与润滑]　 TQ12[工业技术 > 化学工业 > 非金属元素及其无机化合物化学工业]

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