单晶硅自由磨料线锯切片过程中的流体动压效应

摘　　要:

基于流体动压理论，研究了单晶硅自由磨料线锯切片过程中的流体动压效应。通过自柔顺系数来体现锯丝各节点受径向力作用下所产生位移的差异，并以此建立了油膜厚度方程。运用有限差分法求解二维Reynolds方程，得到了流体动压力及膜厚的分布曲线。分析讨论了工况参数对最小油膜厚度的影响，表明最小油膜厚度随着走丝速度及研磨液粘度的增加而增加，随着锯丝转角的增加而减小。