磁控阴极溅射靶三维磁场的有限元分析

田立坚郝淑荣沈阳工业大学

	摘要：采用有限元元方法对磁控阴极溅射靶三维磁场进行了计算和分析，该装置是一种用于玻璃镀膜的永磁装置，主要由永磁体，铁磁材料和不锈钢板组成，为保证靶中不锈钢板表面的磁场均匀分布，进行了多种方案的计算和调整，给出了一种实用方案，使得装置性能得到明显改善。

	格式：PDF 页数：4 页页码范围：136-139页
	学科分类：【工业技术】 > 电工技术 > 电工基础理论 > 电磁场理论的应用 > 磁场、磁场计算 > 磁场计算【数理科学和化学】 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜的生长、结构和外延
	关键词：有限元电磁场永磁装置磁控阴极溅射靶镀膜
	来源期刊：《沈阳工业大学学报》1999年第2期
	收录数据库：中文科技期刊数据库

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