磁控阴极溅射靶三维磁场的有限元分析

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田立坚 郝淑荣

沈阳工业大学

摘　　要:

采用有限元元方法对磁控阴极溅射靶三维磁场进行了计算和分析，该装置是一种用于玻璃镀膜的永磁装置，主要由永磁体，铁磁材料和不锈钢板组成，为保证靶中不锈钢板表面的磁场均匀分布，进行了多种方案的计算和调整，给出了一种实用方案，使得装置性能得到明显改善。 (共4页)

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