微纳电子技术
Micronanoelectronic Technology
16开
2002年1月经国家新闻出版署批准由《半导体情报》更名为《微纳电子技术》
主管单位：中华人民共和国信息产业部
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
社 长：杨克武
主 编：李和委
地 址：石家庄市合作路113号
邮政编码：050051
电 话：0311-87091487
电子邮件：wndz@vip.sina.com
国际标准刊号：ISSN 1671-4776
国内统一刊号：CN 13-1314/TN
邮发代号：18-60
单 价：12.00
定 价：144.00
获奖情况
2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科技期刊编辑质量优秀奖
2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术水平优秀奖
中国学术期刊执行（光盘版）检索与评价数据规范优秀期刊
2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊学术技术水平优秀奖。
国外数据库收录
俄罗斯文摘杂志
美国化学文摘
俄罗斯文摘杂志
英国物理学、电技术、计算机及控制信息社数据库
《微纳电子技术》自创刊以来，致力于推动我国微米纳米技术的发展，大量报道了我国纳米电子学的基础性研究和MEMS领域的开发与应用，为全国从事微纳电子技术研究的人员搭建了一个良好的技术、信息交流平台，对我国...
更多简介 >>>微纳电子技术 2009年 第9期目录
专家论坛
量子点超辐射发光管研究进展（续）吕雪芹 王佐才 金鹏 王占国 (513)
纳米器件与技术
电荷俘获存储器中俘获层的研究进展 李德君 刘明 龙世兵 王琴 张满红 刘璟 杨仕谦 (518)
基于SOISi片的二极管红外探测器何伟 陈大鹏 明安杰 黄卓磊 欧毅 焦斌斌 薛惠琼 (525)
纳米材料与结构
溶胶-凝胶法制备高C轴取向纳米V2O5薄膜甄恩明 徐刚 苗蕾 徐雪青 (530)
4H-SiC同质外延层的质量表征李佳 冯志宏 陈昊 蔡树军 (535)
MEMS器件与技术
基于声表面波的微驱动技术的发展张冠 李以贵 (540)
一种新型MEMS离面驱动器的设计与分析任豪 姚军 胡放荣 邱传凯 (546)
平面电磁型微电机定转子制作工艺杨杰伟 刘治华 赵江铭 吴一辉 (551)
显微、测量、微细加工技术与设备
纳米楔形光纤探针的制备杨修文 祝生祥 江锐 石义杰 (557)
紫外纳米压印用PMMA转移层膜的制备及性能董会杰 辛忠 陆馨 (561)
无
表面处理与清洗是纳米器件实现量产的保证 (560)
微电子器件与技术
BST红外探测器阵列像元信号检测电路设计范茂彦 姜胜林 (566)
国际视点
期刊汇总
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