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Micronanoelectronic Technology

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微纳电子技术
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月刊1964-01-01年创刊
16开

2002年1月经国家新闻出版署批准由《半导体情报》更名为《微纳电子技术》

期刊信息

主管单位：中华人民共和国信息产业部

主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所

社　　长：杨克武

主　　编：李和委

地　　址：石家庄市合作路113号

邮政编码：050051

电　　话：0311-87091487

电子邮件：wndz@vip.sina.com

国际标准刊号：ISSN 1671-4776

国内统一刊号：CN 13-1314/TN

邮发代号：18-60

单　　价：12.0000

定　　价：144.0000

获奖情况

2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科技期刊编辑质量优秀奖

2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术水平优秀奖

中国学术期刊执行（光盘版）检索与评价数据规范优秀期刊

2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊学术技术水平优秀奖。

国外数据库收录

俄罗斯文摘杂志

美国化学文摘

俄罗斯文摘杂志

英国物理学、电技术、计算机及控制信息社数据库

期刊简介

《微纳电子技术》自创刊以来，致力于推动我国微米纳米技术的发展，大量报道了我国纳米电子学的基础性研究和MEMS领域的开发与应用，为全国从事微纳电子技术研究的人员搭建了一个良好的技术、信息交流平台，对我国...

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本刊收录汇总

微纳电子技术 2009年 第4期目录

专家论坛

GaN HFET研究中的钝化、场板和异质结构设计薛舫时 (193)

纳米器件与技术

1．06μm大功率连续半导体激光器任永晓 陈宏泰 张世祖 杨红伟 花吉珍 (209)

散粒噪声用于纳米电子器件与结构的量子效应表征陈华 杜磊 庄奕琪 陈文豪 唐冬和 李晨 (201)

纳米材料与结构

沟道应力对GaAs PHEMT材料电性能的影响卜夏正 武一宾 商耀辉 牛晨亮 赵辉 崔琦 (221)

C_20富勒烯分子异构体的^13C NMR谱特征比较张秀梅 王利光 霍新霞 齐文辉 (217)

Cr掺杂SiC薄膜的制备与光致发光特性朱小健 洪波 金成刚 吴雪梅 (213)

MEMS器件与技术

基于探针形式的三维硅微力传感器林启敬 赵玉龙 蒋庄德 王鑫垚 王伟忠 (231)

压电振子结构参数对微雾化器耦合特性的影响杨明伟 周兆英 (226)

电渗泵的研究进展白竹川 高杨 刘婷婷 陈营端 (236)

显微、测量、微细加工技术与设备

GaN／SiO2刻蚀选择比的研究肖国华 付铁利 郑珏琛 唐兰香 (250)

电子束曝光系统中精密工件台的测量系统严伟 胡松 杨勇 周绍林 蒋文波 李艳丽 乔俊仙 (244)

国际视点

Thomas Swan再次获准经营EPA碳纳米管 (255)

基于碳纳米管组装技术的纳米板 (255)

STS为韩国NIA安装Pegasus DRIE设备 (255)

微流体系统公司受到国土安全部的继续资助 (255)

用于防静电封装和涂层的铟纳米粒子 (255)

EV集团接到欧洲知名大学的多系统订单 (254)

MEMSCAP宣布2008年第三季度的财务业绩 (254)

应用材料公司接到Silex Microsystems多刻蚀系统的订单 (254)

Wolfson推出世界上高性能的超小型MEMS麦克风 (254)

会议消息

2009年中国国际纳米科学技术会议通知（第二轮） (256)

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