2001#$a微纳电子技术 210##$c中国电子科技集团公司第十三研究所$b石家庄市合作路113号（179信箱46分箱） 326##$a月刊 011##$a1671-4776 091##$a13-1314/TN 690##$aTN4 8564#$u 905##$a92139A